Описание
Характеристики

ОПИСАНИЕ

Ключевым компонентом прибора является высокоскоростная центрифуга, которая используется для тонкой очистки кремниевых пластин размером 4-12 дюймов. Прибор предлагает функции двойной жидкой очистки, азотной чистки, снятия статического заряда, высокоскоростной центрифугой и другими инструментами, что обеспечивает качественную чистку и осушку деталей.

Технические характеристики

Внешние габариты прибора 620 мм(Д)×620 мм(Ш)×1600 мм(В)
Характеристики очистительного поддона 4-12 дюймов (дополнительно)
Размер очистительного поддона В соответствии с заказом
Диаметр впускного отверстия чистой воды Наружный диаметр шланга с чистой водой Ø 8 мм
Диаметр сливного отверстия Шланг 3/4"
Диаметр впускного отверстия источника газа Ø 12 мм ПУ шланг
Диаметр отвода выпускной трубы 2,5" кожаное трубное соединение (наружный диаметр 75 мм)
Питание 220 В пер. тока; 50 Гц ; 5 A
Общая мощность 1,5 кВт
Энергопотребление Во время очистки 1,5 кВт/ч
Во время простоя 0,5 кВт/ч
Подача воздуха 0,45–0,7 МПа
Подача деионизированной воды >0,35 МПа
Давление в режиме очистки 3,8-8 кгс/см²
Скорость центрифуги 100–2000 об./мин.
Мощность передачи в л/с 1 л/с
Потребление чистой воды 0–1000 мл./мин.
Потребление газа 200–500 л./мин.
Метод фильтрации воздуха Вывод воды 0,3 мкм x 1; вывод масла 0,01 мкм x 1; точный фильтр 0,01 мкм x 1
Метод фильтрации окружающей среды 0,3 мкм; 99,99%
Вес-нетто прибора Около 200 кг
ФОС в подвале