Описание
Характеристики
ОПИСАНИЕ
Ключевым компонентом прибора является высокоскоростная центрифуга, которая используется для тонкой очистки кремниевых пластин размером 4-12 дюймов. Прибор предлагает функции двойной жидкой очистки, азотной чистки, снятия статического заряда, высокоскоростной центрифугой и другими инструментами, что обеспечивает качественную чистку и осушку деталей.
Технические характеристики
| Внешние габариты прибора | 620 мм(Д)×620 мм(Ш)×1600 мм(В) |
| Характеристики очистительного поддона | 4-12 дюймов (дополнительно) |
| Размер очистительного поддона | В соответствии с заказом |
| Диаметр впускного отверстия чистой воды | Наружный диаметр шланга с чистой водой Ø 8 мм |
| Диаметр сливного отверстия | Шланг 3/4" |
| Диаметр впускного отверстия источника газа | Ø 12 мм ПУ шланг |
| Диаметр отвода выпускной трубы | 2,5" кожаное трубное соединение (наружный диаметр 75 мм) |
| Питание | 220 В пер. тока; 50 Гц ; 5 A |
| Общая мощность | 1,5 кВт |
| Энергопотребление | Во время очистки 1,5 кВт/ч Во время простоя 0,5 кВт/ч |
| Подача воздуха | 0,45–0,7 МПа |
| Подача деионизированной воды | >0,35 МПа |
| Давление в режиме очистки | 3,8-8 кгс/см² |
| Скорость центрифуги | 100–2000 об./мин. |
| Мощность передачи в л/с | 1 л/с |
| Потребление чистой воды | 0–1000 мл./мин. |
| Потребление газа | 200–500 л./мин. |
| Метод фильтрации воздуха | Вывод воды 0,3 мкм x 1; вывод масла 0,01 мкм x 1; точный фильтр 0,01 мкм x 1 |
| Метод фильтрации окружающей среды | 0,3 мкм; 99,99% |
| Вес-нетто прибора | Около 200 кг |