Комплектующие и расходные материалы

B1A Точная обработка сложных материалов за счёт превосходной износостойкости и жёсткости. Применение: электронные компоненты, оптические приборы, различные типы полупроводниковых корпусов, керамика, монокристаллический феррит, стекло и т.д.
NBC-ZH Высокая производительность благодаря отличным ходовым качествам идлительному сроку службы. Применение: кремниевые пластины, составные полупроводниковые пластины (GaAs, GaP и т.д.), оксидные пластины (LiTaO3 и т.д.) и т. д
P1A Высокое качество обработки сложных материалов. Применение: стекло, кварц, LiTaO3, различные типы полупроводниковых корпусов, керамика и т.д.

Тип устройства Источник ионов щелевой с холодным катодом
Обозначение НДСА.803.01.00.00.00
Основное применение Очистка изделий в вакуумных камерах перед напылением; Ионное ассистирование; Травление тонких слоев