ОПИСАНИЕ
Протяжённые
Магнетроны с мишенями прямоугольной формы. Ширина мишени составляет 100 мм, а длина — от 440 мм до 989 мм и более.
Магнетрон изготовлен из нержавеющей стали 304 стандарта AISI. Магнетроны одновременно могут использоваться как для ВЧ, так и для постоянного тока, что позволяет им распылять различные классы материалов: проводники, полупроводники и диэлектрики. Мишенедержатель магнетрона сконструирован из меди и нержавеющей стали, что позволяет использовать высокоэффективный метод турбулентного охлаждения, а редкоземельные магниты изолировать от воды и вакуума.
Круглые
Магнетроны с мишенью цилиндрической формы. Применяются для распыления мишеней цилиндрической формы из металлов и диэлектриков. Магнетроны изготовлены из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Для формирования сильных магнитных полей используются магниты на основе сплава NdFeB.
Охлаждающая жидкость системы охлаждения магнетрона контактирует лишь с мишенедержателем, выполненным из меди и нержавеющими частями корпуса. Взаимодействие магнитов или других, подверженных коррозии, частей магнетрона с охлаждающей жидкостью исключено, что значительно увеличивает срок службы магнетрона.
Технические характеристики
Скачать| Вес источника | 14,68 кг |
| Номинал мощность распыления | 3000 Вт DC, 1500 Вт RF |
| Рабочее давление | 0,1-0,7 Па |
| Форма мишени | Прямоугольная |
| Параметры мишени | 440±1мм х 100мм±1мм |
| Толщина мишени | Немагнитные материалы косвенного охлаждения 2мм-6.3мм (0,080"-0,250"), прямого охлаждения 10мм-16мм |
| Толщина мишени для магнитных магнетронов | Магнитные материалы: 2мм-6.3мм (0,080"-0,250") Ni 2мм (0,080") Fe |
Смотрите также:
-
Режущие диски
-
Нагреватели
-
Источники ионов