EN
  • 01

    Модернизация вакуумных установок

  • 02

    Модернизация электротермического оборудования

  • 03

    Модернизация газовых линий

  • 04

    Модернизация зарубежного технологического оборудования

Процесс модернизации включает в себя замену:

  • блоков управления загрузкой
  • блоков управления нагревом
  • блоков контроля температуры
  • плат дискретного выхода
  • регуляторов расхода газа
  • электропневмоклапанов
  • систем управления
  • систем газонапуска
  • оптических систем
  • блоков питания
  • приборов
  • систем пневматики откачных средств

  • «Изотрон 3-150»

    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • «Изотрон 4-150» 

    текст 2
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • «Оксид-3»

    текст 3
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • «Октава»

    текст 4
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • Серия «СД.ОМ-3/100»

    текст 5
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • «Изоплаз-150»

    текст 6
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев

  • УВН74, УВН71-П3

    текст 7
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

  • «Магнетрон», «Оратория-29», «Оратория 2М»

    текст 8
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
    установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

МОДЕРНИЗАЦИЯ ГАЗОВЫХ ЛИНИЙ