ОБОРУДОВАНИЕ 

ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Установки для плазмохимического травления представляют собой оборудование, предназначенное для точного удаления материалов с поверхности путем химической реакции, активируемой плазмой. Применяются в производстве микросхем и других полупроводниковых устройств, где необходимо строгое соблюдение технологических параметров.

Установки для вакуумного напыления используются для нанесения тонких пленок на поверхности методом физического осаждения в вакууме. Обеспечивают равномерное покрытие высокой чистоты, что необходимо для создания защитных, проводящих, антирефлективных и других специализированных покрытий. 

Комплектующие и расходные материалы включают магнетроны различных конфигураций: протяжённые, круглые, предназначенные для генерации плазмы. Источники ионов, доступные в протяжённых и круглых вариантах, которые используются для ионизации газа в процессах плазмохимического травления и напыления. Нагреватели, необходимые для контроля температурных условий во время производственных операций. Корпусные и бескорпусные диски для резки кремния, арсенида галлия, фосфида галлия, кварца и других материалов.

Дополнительное оборудование, в которое входят установки для очистки, которые автоматически очищают, отмывают и сушат фотошаблоны полупроводниковых пластин после их дисковой резки. Автономная станция охлаждения для установок дисковой резки, предназначенная для подачи, охлаждения, циркуляции и фильтрации смазочно-охлаждающей жидкости.

Нестандартное оборудование, включая вакуумные, сборочные и напылительные установки, а также внедрение новейших технологий. Мы предлагаем техническую модификацию оборудования для различных задач с изменением опций и степени автоматизации.

Мы разрабатываем, производим и поставляем вакуумно-плазменное оборудование, предоставляя широкий спектр технологических решений собственного производства, а также от ведущих мировых производителей. Среди зарубежного оборудования: термические печи, вакуумные печи для пайки и отжига. В ассортименте также присутствуют установки для фотолитографии, станки дисковой резки, установки для плазменной очистки и маркировки, а также рентгеновские установки для контроля качества. Дополнительно предлагается оборудование для ремонта, включая инфракрасные паяльные станции и платформы предварительного нагрева.