EN
Описание
Характеристики

ОПИСАНИЕ

Преимущества

  • Подходит для распыления фоторезиста на пластины диаметром 200 мм и меньше
  • Полностью закрытая конструкция, рама из нержавеющей стали, зеркальная панель из нержавеющей стали
  • Высокоточная вращающаяся нагревательная платформа с вакуумной адсорбцией пластин и функцией автоматического подъема
  • Система подачи использует микропоточную систему, скорость потока непрерывна и стабильна (расход регулируется)
  • Высокоточная ультразвуковая распылительная насадка, равномерное распыление частиц, мощность распыления регулируется
  • Сенсорный интерфейс, возможность осуществлять редактирование рецептов и мониторинг состояния работы

Технические характеристики

Объём обработки: 25 пластин (стандартные кассеты), автоматическое картографирование
Эффективный ход электроцилиндра: ≤ 300 мм
Максимальная скорость распыления: 8 мл/мин, (регулируется)
Диаметр распыления фоторезиста: 30–50 мкм
Равномерность температуры: ±1% (диапазон температур: 50~150°С)
Точность контроля температуры: ± 0,5°С
Габариты: 1600 мм (Ш) × 1500 мм (Г) × 1800 мм (В)

Смотрите также:

Вы недавно смотрели:

Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности