MS6–CA

Характеристики

Технические характеристики

Размер подложки:	50, 75, 100, 150 мм
Материал подложки:	кремний
Основная длина волны:	i–line 365 нм
Освещение:	Экспонирующая головка с ртутной лампой высокого давления мощностью 350 Вт
	≧ 25 МВт/см2 (I-образная линия)
	≧ 40 МВт/см2 (h––образная линия)
Половинный угол:	≤ 2°
Равномерность освещенности:	6 дюймов круглой формы; ± 3%
Диапазон воздействия:	φ 150 мм (параллельный свет)
Разрешение:	Линии и пробелы на 6-дюймовых пластинах
	Линии и пробелы на круглой пластине диаметром 6 дюймов
Контактный режим:	≤ 1,0 мкм
Фоторезист:	AZ 1512
Толщина:	1 мкм
Режим воздействия:	мягкий контакт, жесткий контакт
Точность выравнивания передней части:	≤± 1 мкм
Камера:	камера серии Basler Ace
Габариты установки:	950 мм (Ш) * 1050 мм (Г) * 1950 мм (В)
Вес:	600 кг