EN
Описание
Характеристики

ОПИСАНИЕ

Преимущества

  • Подходит для пластин размером 200 мм и меньше
  • Дополнительный корпус из коррозионностойкого полипропилена или нержавеющей стали
  • Сенсорный интерфейс, отображение рабочего состояния оборудования в режиме реального времени
  • Дополнительные функции, такие как удаление кромок, обратная промывка и контроль температуры фоторезиста

Технические характеристики

Конфигурация агрегата: COT+HP
Размер подложки: 200 мм
Трубопровод фоторезиста: 2 канала
Применимая вязкость фоторезиста: 0–1000CP (дополнительная система подачи жидкости для фоторезиста с высокой вязкостью)
Диапазон скоростей вращения: 20–500 об/мин
Диапазон ускорения: 20–20000 об/мин/с
Точность скорости: ±7 об/мин
Материал CHUCK: микропористая керамика/PPS
Равномерность толщины пленки: ±3% (3 мм с одной стороны края)
Диапазон температур: 50–200° С
Равномерность температуры: 800 кг
Программа: ≤100 групп, каждая группа ≤100 шагов

Смотрите также:

Вы недавно смотрели:

Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности