Размер обрабатываемых пластин: 200 мм

Точность измерения: 0,06 мкм

Точность повторяемости: 0,03 мкм

Разрешение: 0,005 мкм

Количество измеряемых пикселей: ≤ 250000

Скорость сортировки: 100 шт/час