ОПИСАНИЕ
Протяжённые
Чаще всего источники ионов применяются в вакуумном технологическом оборудовании для предварительной ионной очистки образцов перед магнетронным илитермическим напылением. Ионная очистка позволяет стравливать неорганические загрязнения в среде аргона илиорганические в среде кислорода.
Источники ионов выполнены из немагнитной и магнитной нержавеющих сталей с изоляторами из фторопласта.
Рабочее давление: 5х10-2 Па…1х10-1 Па.
Применение: предварительная ионная очистка изделий в вакуумных установках M-RAY.
Круглые
Используются для предварительной очистки образцов перед напылением. Обработка ионами аргона позволяет стравить слой неорганических загрязнений, а очистка в кислороде позволяет стравливать органические загрязнения.
Данные источники ионов являются источниками щелевого типа. Изготавливаются из нержавеющей стали 12Х18Н10Т и магнитной нержавеющей стали, а так же изоляторов из фторопласта. Анод источника охлаждается водой.
Рабочее давление: 5х10-2…1х10-1 Па.
Применение: ионная очистка изделий в установках M-RAY.
Технические характеристики
| Тип устройства | Источник ионов щелевой с холодным катодом |
| Обозначение | НДСА.803.01.00.00.00 |
| Основное применение | Очистка изделий в вакуумных камерах перед напылением; Ионное ассистирование; Травление тонких слоев |
| Напряжение питания / разряда, кВ / В | 1,5–4 кВ |
| Рабочий ток, мА / А | не менее 400 мА при 3 кВ, Ar |
| Расход газа, норм. см3/с | не более 1 |
| Зона равномерной обработки / рабочая зона, мм | 354 |
| Фитинг охлаждения анода | НДСА.803.01.00.00.09; трубка Ø8/6 |
| Фитинг охлаждения корпуса | Pneumax 3010818 |
| Фитинг газовый | Swagelok SS-400-1-2-OR |
| Габариты по чертежу, мм | ≈ 430 × 90 × 86 |
| Масса, кг | 8,85 |
| Комплект ЗИП / принадлежностей | Уплотнения, изоляторы, O-ring Viton, пластины 1 и 2 |
| Гарантийный срок | 1 год; не позднее 18 месяцев с момента отгрузки |
Чертежи
Смотрите также:
-
Режущие диски
-
Нагреватели
-
Магнетроны