Описание
Характеристики
ОПИСАНИЕ
Двусторонняя установка фотолитографии SB-402 способна удовлетворить потребности традиционного производства фотоэлектрических устройств, микроэлектромеханических систем (MEMS), силовых устройств, датчиков, логических схем ИЛИ и т.д.
Двусторонняя установка фотолитографии SB-402 состоит из прецизионного столика для совмещения, держателя фотошаблона, транспортной руки, патрона загрузочного фотошаблона, источника света двойного экспонирования, горизонтального микроскопа с разделенным полем обзора, системы освещения микроскопа, питания ртутной лампы и системы электрического управления и т.д.
Преимущества
- Тонкий двухслойный трехмерный стол для центровки
- Рама для верхней плиты
- Манипулятор
- Стол предварительной центровки
- Система экспозиции с двойным оптическим лучом
- Система наблюдения за центровкой
- Источник питания ртутной лампы
- Электрическая система управления
- Стол с регулировкой уровня и т.д.
Технические характеристики
| Адаптируемый размер подложки: | 3″ (Ф76 мм) (опционально в соответствии с потребностями пользователей) 4″(Ф102 мм) |
| Адаптируемый размер фотошаблона: | 3″ (Ф76 мм) (опционально в соответствии с потребностями пользователей) 4″(Ф102 мм) |
| Диапазон перемещения верхнего и нижнего фотошаблона должен совпадать: | Ось X: ±4 мм Ось Y: ±4 мм Ось θ: ±7,5° |
| Точность совмещения верхнего и нижнего фотошаблона: | ±3 мкм |
| Диапазон перемещения фотошаблона и подложки для совмещения друг с другом: | Ось X: ±4 мм Ось Y: ±4 мм Ось θ: ±5° |
| Точность совмещения фотошаблона и подложки: | ±3 мкм |
| Расстояние между транспортной рукой и нижним фотошаблоном: | 0～100 мкм |
| Микроскоп с разделенным полем обзора: | окулярная линза 10× линзы объектива 6,5× |
| Разделение объектива: | 26 мм～70 мм |
| Освещение микроскопа: | LED |
| Источник экспонирующего излучения: | Высоковольтная ртутная лампа 250 Вт |
| Площадь экспонирования: | φ110 мм |
| Разрешение экспонирования: | 3 мкм (позитивный фоторезист) |
| Равномерность: | ±3 % |
| Время экспонирования: | 0～999,9 сек |
| Вес станка: | 480 кг |
| Мощность: | 1200 Вт |
| Физические габариты: | 920 мм×1070 мм×1500 мм (Ширина × Глубина × Высота） |
Смотрите также:
-
Установка экспонирования BG–607S