АО «НПП «ЭСТО» ввело в эксплуатацию установку плазмохимического травления с уникальной технологией, которая впервые реализует полный сухой технологический цикл в одном процессе.
Оборудование позволяет за одну операцию сначала протравить кремний через фоторезистивную маску, а затем, без разгерметизации, полностью удалить фоторезист.
Технология заменяет традиционные этапы (травление кремния и жидкостное снятие резиста) на чистый сухой процесс. Отсутствие контакта поверхности с растворами и промежуточных промывок минимизирует риск загрязнения, дефектообразования и повышает воспроизводимость параметров микротопографии.
Переход на единый цикл сокращает длительность операции, снижает расход реагентов и упрощает организацию производственного участка. По имеющимся данным, решений по травлени. кремния и удалени. фоторезиста в одном процессе без разгерметизации, на российском и зарубежном рынке не представлено. Решение задаёт новый технологический стандарт для отечественной микроэлектроники.
Внедрение оборудования подтверждает курс АО «НПП «ЭСТО» на разработку передовых производственных систем, укрепление технологического суверенитета и переход к высокоэффективным процессам. Установка готова к масштабированию на линиях выпуска современной электронной компонентной базы.
