Разработка АО «НПП «ЭСТО» и ООО «ЭСТИКА» прошла полный цикл проверки — от стендовых испытаний у производителя до обработки пластин на установке SPTS VPX ICP у заказчика.
Специалисты АО «НПП «ЭСТО» и ООО «ЭСТИКА» завершили изготовление и испытания электростатического стола SPTS 150 мм, предназначенного для фиксации и охлаждения кремниевых пластин при удалении фоторезиста.
Стол разработан в качестве полного импортозамещающего аналога оригинального изделия. Основные элементы изготовлены в России из отечественных материалов. Ключевым компонентом конструкции является электростатический электрод из вакуумплотной керамики ВК-94.
От отечественного материала — к работе на установке заказчика
Первый этап испытаний прошёл на стенде. Специалисты проверили работу электростатического прижима, электрическую прочность конструкции и герметичность системы подачи гелия, обеспечивающей охлаждение обратной стороны пластины.
После стендовой проверки стол был установлен в установку SPTS VPX ICP на территории заказчика. Испытания проводились в реальных производственных условиях с использованием базового рецепта удаления фоторезиста. Они подтвердили совместимость разработанного стола с оборудованием заказчика и возможность его применения в штатном технологическом процессе.
Результаты испытаний
Полученные результаты подтвердили стабильность и равномерность технологического процесса. Итоги испытаний были зафиксированы в соответствующем акте.
Таким образом, отечественный электростатический стол SPTS 150 мм успешно прошёл полный цикл проверки — от испытаний отдельных компонентов и стендовой отработки у производителя до проведения технологического процесса на оборудовании заказчика.
