Характеристики
Технические характеристики
| Температура процесса: | 1380~1500 ̊C |
| Газ: | H2, N2O, NO, O2, Ar2, N2 |
| Рабочее давление: | 100 мбар |
| Ёмкость: | 25 или 50 пластин |
| Размер обрабатываемых пластин: | ≤ 150 мм |
| Автоматизация: | полная |
Смотрите также:
Вы недавно смотрели:
Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности