АО «НПП «ЭСТО» поставило установку плазменной очистки CY-P10L-1000W на завод по производству электронных компонентов и приборов для повышения качества и эффективности подготовки подложек

АО «НПП «ЭСТО» успешно завершило поставку и пуско-наладку установки плазменной очистки CY-P10L-1000W на производственную площадку завода по производству электронных компонентов и приборов — специализированного предприятия в области вакуумного напыления и микроэлектроники.

модернизация процесса подготовки подложек перед напылением. Ранее для удаления органических загрязнений и обезжиривания использовались химические методы, что сопряжено с длительным циклом обработки, рисками экологической безопасности и нестабильностью качества очистки.

Специалисты АО «НПП «ЭСТО» предложили переход на современную плазменную очистку низкотемпературной плазмой, обеспечивающую высокую степень очистки, экологичность и полную автоматизацию процесса. После ознакомления с технологией и демонстрации эффективности, руководство завода приняло решение о внедрении установки CY-P10L-1000W.

Ключевые характеристики установки:

• Камера из кварцевого термостойкого стекла (Ø 220 мм × 350 мм)
• Рабочая частота: 13,56 МГц (с высокой стабильностью ±0,2 кГц)
• Мощность: регулируемая от 11 до 1000 Вт с шагом 1 Вт
• Два независимых газовых канала (0–100 мл/мин) — для подачи кислорода, аргона или их смесей
• Управление через PLC-интерфейс: точная настройка времени (1–9999 сек), мощности и режима
• Принудительное воздушное охлаждение
• Совместимость с вакуумным насосом (2,2 л/с)
• Энергопотребление: до 1,2 А при 220 В (без учёта насоса)

Особое внимание было уделено производительности: установка позволяет обрабатывать до 30 подложек одновременно с использованием специальной кварцевой оснастки. Цикл очистки занимает всего 30–60 секунд, после чего поверхности полностью свободны от органических загрязнений и обезжирены, что критически важно для последующих этапов напыления.

Специалисты АО «НПП «ЭСТО» провели полный инструктаж, запуск и демонстрацию оборудования. Клиент подтвердил соответствие установки заявленным требованиям и высокое качество получаемой поверхности.

Результат внедрения:

• Полный отказ от химических методов обезжиривания
• Сокращение времени подготовки образцов
• Повышение воспроизводимости и качества напыления
• Соответствие экологическим и промышленным стандартам

Переход на плазменную технологию очистки стал важным шагом в повышении технологической эффективности и экологической безопасности производства.