Описание
Характеристики
ОПИСАНИЕ
В результате измерений можно получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK .
Технические характеристики
| Диаметр пластины: | 50 - 200 мм |
| Точность измерения: | 0,063 мкм |
| Точность повторяемости: | 0,015 мкм |
| Разрешение: | 0,005 мкм |
| Количество измеряемых пикселей: | ≤ 230000 |
Смотрите также:
Вы недавно смотрели:
Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности