Описание
Характеристики

ОПИСАНИЕ

В результате измерений можно получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK .

Технические характеристики

Диаметр пластины: 50 - 200 мм
Точность измерения: 0,063 мкм
Точность повторяемости: 0,015 мкм
Разрешение: 0,005 мкм
Количество измеряемых пикселей: ≤ 230000

Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности