Вакуумное оборудование
Вакуумное оборудование АО «НПП «ЭСТО» используется в лабораториях, на БИС, ГИС, МЭМС, НЭМС производствах, в оптоэлектронике, силовой и СВЧ электронике. В продуктовом портфеле АО «НПП «ЭСТО» установки для магнетронного, ионно-лучевого напыления, ионного и плазмохимического травления.
- Установки для напыления выполняют осаждение покрытий, ионно-лучевую, ионно-плазменную, термическую обработку в условиях вакуума разных материалов и изделий. Таким способом проводится нанесение декоративных, отражающих покрытий на пластик, магнетронное хромовое напыление, плазмохимическое осаждение диоксида кремния, нанесение циркония, нитридов титана для получения износостойких покрытий и другие операции.
- Приборы для плазмохимического травления реализуют распад молекул реактивных газов посредством ионизации. Продукты распада либо вступают в реакцию с материалом подложки, либо входят в летучие соединения, либо реагируют между собой, либо происходит высаждение на поверхность с образованием нового соединения.
ЭСТОХОРС 200А ICP
Плазмохимическое травление
ЭСТОХОРС 200C RIE
Плазмохимическое травление
M-Ray H1S
Вакуумное напыление
M-Ray V1S
Вакуумное напыление
M-Ray V2S
Вакуумное напыление
M-Ray VP
Вакуумное напыление
Установки производят следующие технологические процессы:
- плазмохимическое травление критических слоев материалов в полупроводниковых производствах
- СБИС уровня 65-28 нм
- формирование металлизации для разных интегральных схем
- нанесение резистивных и проводящих покрытий
- нанесение многокомпонентных составов
- формирование необходимого рисунка с применением взрывной литографии
- вакуумное напыление металлов и прочее.
Производственные мощности позволяют оснастить типовой участок всем необходимым технологическим вакуумным оборудованием. Конструкторское бюро разрабатывает установки под конкретные задачи, а технологический центр отрабатывает технологию получения готовой продукции.