Время работы
Установка плазмохимического травления

XORS 200А

Отправить запрос

Предназначена для плазмохимического травления критических слоев материалов
в полупроводниковых производствах СБИС уровня 65–28 нм.

Используется для травления оксидов, нитридов, low-k,для удаления фоторезиста in-situ, а также скоростноготравления кремния TSV, твердых масок, аморфногоуглерода, поликремния и др.

Описание:

Генератор плазмы: узкозазорный источник «Groovy ICP» с независимым локальным контролем плазмы в центральной и периферийной кольцевых зонах реактора.

Проект XORS подразумевает создание установки с предельно достижимыми характеристиками. По запросам заказчиков на базе XORS мы также разработали и более простые и доступные по цене версии установок под общим названием XORS L. Для установки предлагается три типа источников плазмы, верхний электрод с газовым душем для ССР конфигурации, три типа рабочих столов (как с электростатическим прижимом, так и с механическим), три типа вакуумных систем. В самых простых версиях загрузка подложек осуществляется непосредственно в камеру.

Особенности установки:

Основой установок XORS является уникальный источник Groovy ICP, который объединяет преимущества базовых источников плазмы, нивелируя недостатки. XORS Groovy ICP позволяет реализовывать все плазмохимические процессы в единой базовой процессной камере, меняя лишь внутреннюю оснастку. Единая конфигурация реакторов позволяет создать полную линейку плазмохимических реакторов и достичь высокой экономической эффективности машиностроительного производства и универсальности технологий. Уникальность XORS Groovy ICP в способности независимо и одновременно задавать физические и химические условия процесса в радиальном направлении. Это единственный в мире промышленный источник, позволяющий одновременно осуществлять локальный контроль плотности плазмы и ее химического состава по радиусу пластины. Технологи могут осуществлять процессы при ранее не достижимых сочетаниях параметров: градиент скорости процесса по радиусу пластины можно менять при неизменных внешних параметрах разряда. Таким образом, достигается максимально широкое технологическое окно параметров и простота достижения предельной равномерности процесса по пластине. XORS Groovy ICP позволяет задавать произвольно вогнутые и выпуклые распределения скорости процесса по пластине. XORS Groovy ICP в варианте отдельно стоящей системы комплектуется различными вакуумными загрузчиками пластин, включая кассетные. Минимальный вариант – ручной загрузочный шлюз, максимальный – автоматическая кластерная система с одной, двумя или тремя ПК и фронтальным SMIF модулем.

Плазмохимическое травление слоев

Одним из методов обработки в условиях различных промышленных предприятий является плазмохимическое травление слоев, которое состоит из ряда технологических параметров, позволяющих влиять на скорость процесса и получение поверхности с определенными характеристиками и качеством. Чтобы купить такое оборудование, компания НПП «ЭСТО» предлагает обратиться к опытным специалистам для уточнения всех интересующих вопросов.
Суть процесса кроется в том что, наблюдается возбуждение разряда в активных газах, посредством чего происходит образование химически активных частиц – радикалов и ионов. При их взаимодействии с поверхностью возникают особые летучие соединения, удаляемые из зоны реакции посредством использования системы откачки. Сравнительно с ионным методом в данном случае удается достичь повышенной селективности, то есть избирательности воздействия. В результате убирается поверхностный слой материалов благодаря химической реакции между активными частицами и атомами вещества, подвергаемого процедуре.
Для покупки устройств, предназначенных для плазмохимического травления слоев, звоните по телефону и обсуждайте интересующие вопросы с нашими специалистами, которые проведут консультацию по выбору приборов с требуемыми параметрами и расскажут об условиях сотрудничества.

Сухое травление

К плазменным способам относится сухое травление, которое предназначено для снятия слоя поверхности с целью подготовки для дальнейших работ. Вы можете купить оборудование для выполнения операций в условиях промышленных предприятий, а компания НПП «ЭСТО» сделает поставку в короткие сроки.
Главные преимущества технологии заключаются в безвредности реагентов. Они не оказывают негативного влияния и не подвергаются воспламенению. Процесс может быть частично или полностью автоматизированным. Также в одном реакционном объеме может совмещаться несколько технологических операций. Во время их проведения будет намного меньше загрязнений, попадающих на поверхность. Сравнительно с жидкостным способом достигается более высокая разрешающая способность. Процесс не зависит в существенной степени от толщины фоторезиста. Это имеет значение, когда необходимо проводить обработку в несколько этапов в связи с отсутствием прочих способов установления момента окончания воздействия на поверхность материала.