Время работы

МАГНЕТРОНЫ

Магнетроны применяются в вакуумном оборудовании, предназначенном для напыления тонких пленок в производстве микроэлектронных приборов. Также магнетроны применяются для формирования оптических покрытий, защитных и декоративных.
ПРОТЯЖЁННЫЕ

Магнетроны с мишенями прямоугольной формы. Ширина мишени составляет 100 мм, а длина —от 440 мм до 989 мм и более. Распыление различных классов материалов: проводников, полупроводников и диэлектриков.

КРУГЛЫЕ

Магнетроны с мишенью цилиндрической формы. Применяются для распыления мишеней цилиндрической формы из металлов и диэлектриков. Для формирования сильных магнитных полей используются магниты на основе сплава NdFeB.


ИСТОЧНИКИ ИОНОВ

Ионные источники предназначены для очистки изделий в вакуумных камерах перед напылением, а также для процессов ионного ассистирования в процессе напыления и для травления тонких слоев материалов как ионным распылением (Аргон), так и ионно-химическим травлением (Фреоны, Элегаз и т.д.).
ПРОТЯЖЁННЫЕ

Источники ионов выполнены из немагнитной и магнитной нержавеющих сталей с изоляторами из фторопласта. Рабочее давление ионных источников, как правило, находится в диапазоне от 5х10-2 Па до 1х10-1 Па.

КРУГЛЫЕ

Являются источниками щелевого типа. Изготавливаются из нержавеющей стали 12Х18Н10Т и магнитной нержавеющей стали, а так же изоляторов из фторопласта. Источник ионов работает на давлении 5х10-2...1х10-1 Па.


НАГРЕВАТЕЛИ

При помощи нагревателей осуществляется предварительный нагрев перед процессами напыления или травления в вакуумных технологических процессах.Основу нагревателя составляют лампы мощностью 500 Вт, установленные по всей длине нагревателя. Изделия нагреваются в вакууме до температуры 300°С. Для предотвращения запыления ламп нагреватель оснащен управляемой заслонкой.

РЕЖУЩИЕ ДИСКИ

Корпусные и бескорпусные диски для резки кремния, арсенида галлия, фосфида галлия, феррита, ниобата лития, сапфира, кварца, кремния на стекле, кремния на сапфире, стекла, PZT и других материалов, используемых в электронной промышленности. 


Заказ по каталогам DISCO. Базовые типы B1A, P1A, NBC-ZH, другие по запросу.