Установки плазмохимического травления
XORS 200А ICP
XORS 200C RIE
Плазмохимическое травление
Установка плазмохимического травления — это оборудование, с помощью которого снимают верхний слой материала. Такая технология, если сравнивать её с жидкостной, делает процесс более анизотропным. Не приходится тратить время на то, чтобы удалять с обработанной поверхности сторонние примеси. Представленные системы не занимают слишком много места, дополнительное оснащение поставляется в комплекте — его не нужно докупать отдельно.
Технология плазмохимического травления
Эта технология является разновидностью плазменного травления, наряду с ионным и ионно-химическим. Сам процесс начинается после того, как вступают в химическую реакцию друг с другом активный газ и частицы обрабатываемой поверхности. При отделении плазмы от материала между собой взаимодействуют атомы и радикалы.
Плазмохимическое травление включает следующие шаги:
- Молекулы активного газа переносятся в зону разряда, где превращаются в радикалы.
- Полученные радикалы доставляются к материалу и адсорбируются на его поверхности.
- Атомы взаимодействуют с радикалами, а продукты их взаимодействия десорбируются.
После этого остаётся только очистить с поверхности продукты химической реакции, которая только что происходила. С точки зрения условий, считается что плазмохимическое травление является основным процессом, когда энергия ионов не превышает 100 электронвольт. Если же энергия оказывается выше, то считается, преобладают ионные реакции, а это уже другая технология.
Сферы возможного использования
Оборудования для плазмохимического травления задействуют, чтобы проводить микроструктурирование поверхностей и тем самым повышать её адгезивные свойства. Используя эту технологию, удаляют фитолак, склеивают между собой изделия из политетрафторэтилена, изготавливают интегральные схемы, а также выполняют многие другие производственные и обслуживающие работы.
В каталоге НПП «ЭСТО» представлено оснащение для обработки поверхностей по описанной технологии. На выбор предлагаются установки, которые различаются по параметрам, комплектации и области возможного применения. Можно ознакомиться с внешним видом и описанием характеристик продукции, после чего оформить заказ на её покупку.