В последние дни ноября 2023 года в выставочном центре Крокус Экспо прошла выставка электронной продукции российского производства «Электроника России».

Это место встречи крупнейших игроков рынка, активно развивающих электронную промышленность в нашей стране. Стенды выставки охватывают большую часть предприятий отрасли: от микроэлектроники до компонентов и оборудования.

По приглашению Министерства промышленности и торговли Российской Федерации мы приняли участие в данной выставке, представив на коллективном стенде установку плазмохимического травления XORS200C L RIE ICP. Данное оборудование было разработано и изготовлено при финансовой поддержке Минпромторг России и является уже вторым совместным проектом.

Первый проект по проектированию и производству базового модуля травления для массовых производств XORS200A успешно реализован и выпущен на рынок. Узкозазорный планарный модуль травления диэлектриков XORS200A представляет собой универсальный базовый реактор травления 200 мм для массового кремниевого производства с ключевыми параметрами уровня систем 300 мм. Данный модуль обеспечивает не только основные технологии критического травления диэлектриков в массовом полупроводниковом производстве (высокоаспектное травление оксида, нитрида, аморфного углерода, полимеров и др.), но также и глубокое травление кремния с гладкой стенкой без использования Bosch-процесса.

АО «НПП «ЭСТО» занимается разработкой и производством специального технологического оборудования уже много лет. В ассортименте компании есть готовые установки для пластин 200 мм с уникальным реактором Groovy ICP, а сейчас мы разработали установку для пластин диаметром 100 мм, 150 мм и даже 200 мм. Эти установки предназначены для широкого спектра задач по плазмохимическому травлению и разработаны так, что они могут быть модифицированы под любые задачи и оснащены дополнительными функциями, которые необходимы заказчикам. Это позволяет снижать финансовые и временные затраты при проектировании и производстве новой установки.


Мы стремимся к максимальному использованию отечественных комплектующих в наших установках. В ближайшем будущем мы планируем полностью отказаться от зарубежных компонентов, поскольку в данный момент наблюдаем активное развитие производства отечественных комплектующих, не уступающих по качеству зарубежным аналогам.

Впереди еще много работы, но текущие условия создают отличные возможности для вывода отечественного рынка электроники на совершенно новый качественный уровень. Мы открыты к сотрудничеству и с радостью примем участие в интересных и совместных проектах!

Благодарим Вас за проявленный на мероприятии интерес к нашей установке и до новых встреч на следующих конференциях и выставках!