Основой установок ЭСТОХОРС  является уникальный источник Groovy ICP, который объединяет преимущества базовых источников плазмы, нивелируя недостатки. ЭСТОХОРС Groovy ICP позволяет реализовывать все плазмохимические процессы в единой базовой процессной камере, меняя лишь внутреннюю оснастку. Единая конфигурация реакторов позволяет создать полную линейку плазмохимических реакторов и достичь высокой экономической эффективности машиностроительного производства и универсальности технологий. Уникальность ЭСТОХОРС Groovy ICP в способности независимо и одновременно задавать физические и химические условия процесса в радиальном направлении. Это единственный в мире промышленный источник, позволяющий одновременно осуществлять локальный контроль плотности плазмы и ее химического состава по радиусу пластины. Технологи могут осуществлять процессы при ранее не достижимых сочетаниях параметров: градиент скорости процесса по радиусу пластины можно менять при неизменных внешних параметрах разряда. Таким образом, достигается максимально широкое технологическое окно параметров и простота достижения предельной равномерности процесса по пластине. ЭСТОХОРС Groovy ICP позволяет задавать произвольно вогнутые и выпуклые распределения скорости процесса по пластине. ЭСТОХОРС  Groovy ICP в варианте отдельно стоящей системы комплектуется различными вакуумными загрузчиками пластин, включая кассетные. Минимальный вариант – ручной загрузочный шлюз, максимальный – автоматическая кластерная система с одной, двумя или тремя ПК и фронтальным SMIF модулем.