Установки вакуумного напыления
M-Ray H1S
M-Ray V1S
Установка одностороннего вертикального вакуумного напыления
M-Ray V2S
M-Ray VP
Установка вакуумного напыления применяется, когда нужно создать тонкое покрытие на поверхности изделий. Принцип работы оборудования заключается в переводе вещества в газообразную фазу и переносе с его последующим осаждением. Эта операция производится в вакууме, что обеспечивает хорошую чистоту осаждаемого материала. Вакуумное напыление применяется в различных областях. Например, для нанесения различных тонкоплёночных покрытий в изделиях микроэлектроники, таких как проводящие слои, диэлектрические резистивные. Также может применяться для формирования декоративных или упрочняющих покрытий в машиностроении.
Особенности вакуумного напыления
Установка состоит из рабочей камеры, которая откачивается до высокого вакуума при помощи вакуумной системы, системы подачи и распределения газа, устройств для размещения обрабатываемых изделий, как правило в виде каруселей или барабанов, технологических устройств, транспортировочных и вспомогательных устройств. Технологические устройства представляют из себя магнетроны, источники ионов, испарители, нагреватели и другие. Рабочие камеры, как правило, изготавливаются из полированной немагнитной нержавеющей стали или алюминиевых сплавов.
В технологиях вакуумного напыления ключевым параметром является глубина получаемого вакуума перед процессом напыления, а также чистота используемых газов и материалов для испарения или распыления. Для подготовки изделий перед напылением применяются источники ионов и нагреватели.
Возможные области использования
Основные области применения оборудования для вакуумного напыления:
- микроэлектроника;
- оптика;
- машиностроение;
В микроэлектронике оборудование для вакуумного напыления применяется для формирования электрически проводящих слоёв для таких элементов, как дорожки, контактные площадки, металлизация, диэлектрических слоёв, а также резистивных слоёв в гибридной микроэлектронике для формирования резисторов.
В оптике оборудование для вакуумного напыления применяется для формирования оптических покрытий. Например, просветляющих, отражающих или других.
В машиностроении тонкие плёнки, полученные вакуумным напылением, применяются для защиты деталей от коррозии, упрочнения или с целью придания декоративных свойств.
Представленные машины позволяют обрабатывать изделия из различных материалов, в том числе из кремния, керамики, различных металлов и их сплавов. В каталоге ННП «ЭСТО» представлено оборудование для вакуумного напыления различных типов покрытий.