Установка, предназначенная для засветки УФ чувствительной плёнки, позволяет достичь контролируемого снижения адгезии между пленкой и разрезанной подложкой или пластиной, что снижает вероятность повреждения кристаллов при отклеивании от носителя.
Подходит для пластин 150 мм, 200 мм и 300 мм