Телефон +7 (499) 729-77-51
Время работы
Будни : 08.00 -18.00
e-mail info@nppesto.ru
Главная » Каталог » Комплектующие и расходные материалы » Магнетроны

магнетроны

Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещённых полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии, называются магнетронными распылительными системами или, сокращённо, магнетронами.

Магнетроны применяются в вакуумном оборудовании, предназначенном для напыления тонких пленок в производстве микроэлектронных приборов. Также магнетроны применяются для формирования оптических покрытий, защитных и декоративных.

Отправить запрос

Протяжённые

Магнетроны с мишенями прямоугольной формы. Ширина мишени составляет 100 мм, а длина — от 440 мм до 989 мм и более.

Магнетрон изготовлен из нержавеющей стали 304 стандарта AISI. Магнетроны одновременно могут использоваться как для ВЧ, так и для постоянного тока, что позволяет им распылять различные классы материалов: проводники, полупроводники и диэлектрики. Мишенедержатель магнетрона сконструирован из меди и нержавеющей стали, что позволяет использовать высокоэффективный метод турбулентного охлаждения, а редкоземельные магниты изолировать от воды и вакуума.

Круглые

Магнетроны с мишенью цилиндрической формы. Применяются для распыления мишеней цилиндрической формы из металлов и диэлектриков. Магнетроны изготовлены из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Для формирования сильных магнитных полей используются магниты на основе сплава NdFeB.

Охлаждающая жидкость системы охлаждения магнетрона контактирует лишь с мишенедержателем, выполненным из меди и нержавеющими частями корпуса. Взаимодействие магнитов или других, подверженных коррозии, частей магнетрона с охлаждающей жидкостью исключено, что значительно увеличивает срок службы магнетрона.
Сообщить о нарушении