Телефон +7 (499) 729-77-51
Время работы
Будни : 08.00 -18.00
e-mail info@nppesto.ru
Главная » Каталог » Комплектующие и расходные материалы » Источники ионов

источники ионов

Ионные источники предназначены для очистки изделий в вакуумных камерах перед напылением, а также для процессов ионного ассистирования в процессе напыления и для травления тонких слоев материалов как ионным распылением, так и ионно-химическим травлением. Они работают с газами произвольного состава и не имеют расходуемых в процессе эксплуатации деталей. Питание ионных источников производится с помощью специализированных блоков питания.

Отправить запрос

Протяжённые

Чаще всего источники ионов применяются в вакуумном технологическом оборудовании для предварительной ионной очистки образцов перед магнетронным илитермическим напылением. Ионная очистка позволяет стравливать неорганические загрязнения в среде аргона илиорганические в среде кислорода.

Источники ионов выполнены из немагнитной и магнитной нержавеющих сталей с изоляторами из фторопласта.

Рабочее давление: 5х10-2 Па...1х10-1 Па.

Применение:предварительная ионная очистка изделий в вакуумных установках M-RAY.

Круглые

Используются для предварительной очистки образцов перед напылением. Обработка ионами аргона позволяет стравить слой неорганических загрязнений, а очистка в кислороде позволяет стравливать органические загрязнения.

Данные источники ионов являются источниками щелевого типа. Изготавливаются из нержавеющей стали 12Х18Н10Т и магнитной нержавеющей стали, а так же изоляторов из фторопласта. Анод источника охлаждается водой.

Рабочее давление: 5х10-2...1х10-1 Па.


Применение:ионная очистка изделий в установках M-RAY.

Сообщить о нарушении