Диффузионная печь
Термическая обработка пластин: диффузия, окисление и отжиг полупроводников, дискретных устройств, фото- электроники, силовых устройств, солнечных батарей и СБИС.
ХАРАКТЕРИСТИКИ:
- Размер обрабатываемых пластин: 50–150 мм
- Количество технологических реакторов: 1–4 шт
- Рабочая температура: 400~1286 ̊C
- Длина температурной зоны: 300~1500 мм
- Максимальная скорость нагрева: 15 ̊C/мин
- Максимальная скорость охлаждения: 5 ̊C/мин
- Стабильность температуры в одной точке: ±0,5 ̊C / 24 ч