Время работы
Главная » Каталог » Зарубежное оборудование » Автоматическая установка литографии SS6-CA
Автоматическая установка литографии

SS6–CA


Отправить запрос
конфигурация автоматической установки литографии
Конфигурация


оптическое выравнивание установки литографии
Оптическое выравнивание


модуль источника света установки литографии
Модуль источника света


ОПИСАНИЕ

  • Диаметр подложки: 100, 150 мм
  • Материал подложки: кремний
  • Тип механизма: двурукий вакуумный адсорбционный робот
  • Способ закрепления подложки: метод вакуумной адсорбции
  • Точность позиционирования: ± 0,1 мм
  • Основная длина волны: i–line 365 нм
  • Освещение: экспонирующая головка с ртутной лампой высокого давления мощностью 350 Вт; ≧ 25 мВт/см2 (I–линия); ≧ 40 мВт/см2 (h–линия) 
  • Разрешение: Линии и пробелы на 6-дюймовой круглой пластине. 
  1. Режим вакуумного контакта: ≥±1,0 мкм. 
  2. Режим сенсорного контакта: ≤3,0 мкм. 
  3. Фоторезист: AZ1500. Толщина: 1 мкм 
  • Система выравнивания: 

Верхняя платформа для выравнивания CCDматрицы: 

  1. Диапазон перемещения X: 40 мм (спереди) / 120 мм (сзади). 
  2. Диапазон перемещения Y: –50 мм (спереди) / +50 мм (сзади). 

Нижняя ИК-платформа выравнивания: 

  1. Точность гравировки на лицевой стороне: ≤±3 σ 1 мкм.
  2.  Автоматическая компенсация WEC 

  • Габариты установки: 1600 мм (Ш)*1100 мм (Г)*1950 мм (В)
  • Вес: 800 кг