Время работы
Главная » Каталог » Зарубежное оборудование » Ручная установка литографии MS6-CA
Ручная установка литографии

MS6–CA


Отправить запрос

ОПИСАНИЕ

  • Размер подложки: 50, 75, 100, 150 дюймов
  • Материал подложки: кремний
  • Основная длина волны: i–line 365 нм
  • Освещение: 
Экспонирующая головка с ртутной лампой высокого давления мощностью 350 Вт
≧ 25 МВт/см2 (I-образная линия)
≧ 40 МВт/см2 (h––образная линия)


  • Половинный угол: ≤ 2°
  • Равномерность освещенности: 6 дюймов круглой формы; ± 3%
  • Диапазон воздействия: φ 150 мм (параллельный свет)
  • Разрешение: 
Линии и пробелы на 6-дюймовых пластинах
Линии и пробелы на круглой пластине диаметром 6 дюймов
Контактный режим: ≤ 1,0 мкм
Фоторезист: AZ 1512
Толщина: 1 мкм
Режим воздействия: мягкий контакт, жесткий контакт


  • Точность выравнивания передней части: ≤± 1 мкм
  • Камера: камера серии Basler Ace
  • Габариты установки: 950 мм (Ш) * 1050 мм (Г) * 1950 мм (В)
  • Вес: 600 кг