Ручная установка литографии
MS6-CA
ОПИСАНИЕ
- Размер подложки: 50, 75, 100, 150 дюймов
- Материал подложки: кремний
- Основная длина волны: i–line 365 нм
- Освещение:
≧ 25 МВт/см2 (I-образная линия)
≧ 40 МВт/см2 (h––образная линия)
- Половинный угол: ≤ 2°
- Равномерность освещенности: 6 дюймов круглой формы; ± 3%
- Диапазон воздействия: φ 150 мм (параллельный свет)
- Разрешение:
Линии и пробелы на круглой пластине диаметром 6 дюймов
Контактный режим: ≤ 1,0 мкм
Фоторезист: AZ 1512
Толщина: 1 мкм
Режим воздействия: мягкий контакт, жесткий контакт
- Точность выравнивания передней части: ≤± 1 мкм
- Камера: камера серии Basler Ace
- Габариты установки: 950 мм (Ш) * 1050 мм (Г) * 1950 мм (В)
- Вес: 600 кг