Установка в основном используется для измерения характеристик микроморфологии плоских материалов, таких как карбид кремния, сапфир, стекло, арсенид галлия, фосфид индия, кремний, германий, металлы, керамика и т. д.

Измерение таких параметров пластины, как THK (толщина), TTV (изменение толщины), TIR, WARP (деформация), SORI, BOW (изгиб) и т. д.

Параметры производительности

• Разрешение: 0,05 мкм
• Повторяемость датчика: 0,20 мкм
• Точность измерения: ± 0,5 мкм
• Точки данных: 1/50 мкм
• Точность толщины: ± 0,5 мкм
• Полуавтоматическая скорость: 35 с/шт

Вывод результат

После сканирования пластины прибор может генерировать более интуитивно понятные двумерные цветные изображения и 3D-изображения для удобства наблюдения и анализа при выводе данных посредством вычислений.