Главная » Каталог » Зарубежное оборудование » Автоматическая установка нанесения фоторезиста LS8-1SP
Автоматическая установка нанесения фоторезиста спреем
LS8–1SP
ОПИСАНИЕ
Подходит для распыления фоторезиста на пластины диаметром 200 мм и меньше
Полностью закрытая конструкция, рама из нержавеющей стали, зеркальная панель из нержавеющей стали
Высокоточная вращающаяся нагревательная платформа с вакуумной адсорбцией пластин и функцией автоматического подъема
Система подачи использует микропоточную систему, скорость потока непрерывна и стабильна (расход регулируется)
Высокоточная ультразвуковая распылительная насадка, равномерное распыление частиц, мощность распыления регулируется
Сенсорный интерфейс, возможность осуществлять редактирование рецептов и мониторинг состояния работы
- Объём обработки: 25 пластин (стандартные кассеты), автоматическое картографирование
- Эффективный ход электроцилиндра: ≤ 300 мм
- Максимальная скорость распыления: 8 мл/мин, (регулируется)
- Диаметр распыления фоторезиста: 30–50 мкм
- Равномерность температуры: ±1% (диапазон температур: 50~150°С)
- Точность контроля температуры: ± 0,5°С
- Габариты: 1600 мм (Ш) × 1500 мм (Г) × 1800 мм (В)