ручной тестер плоскостности
LINT-208M
Установка используется для измерения плоскостности следующих материалов: сапфировых пластин, керамических пластин, стеклянных пластин, пластин обычного синего стекла, пластин кремния, пластин германия, пластин арсенида галлия, металлических плоских пластин и т. д.
ОПИСАНИЕ
ВЫВОД ПАРАМЕТРОВ ИЗМЕРЕНИЯ:
В результате измерений нивелир может получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK, всего четырнадцать параметров.
В результате измерений нивелир может получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK, всего четырнадцать параметров.
ХАРАКТЕРИСТИКИ:
- Диаметр пластины: 50 - 200 мм
- Точность измерения: 0,06 мкм
- Точность повторяемости: 0,025 мкм
- Разрешение: 0,005 мкм
- Количество измеряемых пикселей: ≤ 25600
- Габаритные размеры интерферометра: 530×650×780 мм
- Вес: 75 кг
- Внешние размеры электрошкафа: 270×510×400
- Вес электрического шкафа: 15 кг
- Источник питания: 220 В/50 Гц/10 А
- Мощность: ≤ 1,5 кВт
- Источник воздуха: сверхчистый промышленный сжатый воздух или азот (диаметр трубы 8 мм)
- Давление воздуха: ≥ 0,5 МПа
- Расход газа: 4 М³/ч