Полуавтоматическая система контроля геометрических параметров
LINT-208GH
Установка используетсядля измерения плоскостности следующих материалов: сапфировых пластин, керамических пластин, стеклянных пластин, пластин обычного синего стекла, пластин кремния, пластин германия, пластин арсенида галлия, металлических плоских пластин и т. д.
ОПИСАНИЕ
Типы измерения:
В результате измерений можно получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK .
Производительность и технические параметры:
- Диаметр пластины: 50 - 200 мм
- Точность измерения: 0,063 мкм
- Точность повторяемости: 0,015 мкм
- Разрешение: 0,005 мкм
- Количество измеряемых пикселей: ≤ 230000