Установка газофазного осаждения вольфрама

ВГФ2

Отправить запрос

Оборудование газофазного осаждения вольфрама (ВГФ2) предназначена для нанесения покрытий из пиролитического вольфрама на теплонагруженные элементы электровакуумных приборов. Процесс осаждения вольфрама полностью автоматизирован.

Описание:

Основные особенности:

  • механизированная загрузка и выгрузка изделий;
  • формирование покрытия на внутренние и внешние детали типа «Трубка» с произвольным профилем сечения;
  • для покрытия деталей различных типоразмеров в габаритах реакционной камеры требуется лишь соответствующая замена оснастки;
  • автоматическое поддержание тепловых режимов печи – реактора, печи – дожигателя, барботера;
  • автоматическое регулирование расхода водорода;
  • автоматическая дозаправка барботера;
  • работа на установке осуществляется с панели оператора.

Технические характеристики:

  • Максимальные габаритные размеры обрабатываемых деталей ∅150, высота – 250 мм
  • Размеры рабочей зоны печи – реактора  ∅200, высота – 500 мм
  • Максимальная температура, °С Печи-реактора 800 ± 2 %, Печи-дожигателя 1000 ± 5 %, Термостатированного барботера (10÷25) ± 5 %
  • Скорость роста толщины покрытия 0,35 – 0,4 мм/ч
  • Применяемая энергетика:электроэнергия переменный ток 380/220 В, частоты 50 Гц, вода холодная по ГОСТ 2874-82 под давлением 2-4 атм. с расходом 3 м3/ч, азот сетевой по ГОСТ 9293-74 под давлением 1 атм. (изб.) ±0,1% с расходом 2 м3/ч, водород технический по ГОСТ 3022-88 под давлением 1 атм. (изб.) ±0,1% с точкой росы -40 °С с расходом 2 м3/ч, гексафторида вольфрама (WF6) с расходом до 200 л/ч, вытяжная вентиляция скруббера 8000–10000 Па, 500 м3/ч, вытяжная вентиляция установки 1000–2000 Па, 1500 м3/ч
  • Потребляемая мощность 40 кВт
  • Габаритные размеры 3540×1070×1855 мм 
  • При верхнем положении печи-реактора 2340×1070×1855 мм
  • Масса (расчетная) 1200 кг