В марте 2025 года АО «НПП «ЭСТО» разработали транспортный перегрузочный модуль, созданный в рамках совместной с РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова» разработки установки жидкостно-химической обработки полупроводниковых пластин.

Проект по созданию модуля перегрузки для установки жидкостной химической обработки стартовал в АО «НПП «ЭСТО» в 2023 году. Данное оборудование характеризуется конструктивной сложностью и высокими требованиями к точности. Специалисты «ЭСТО» выполнили полный цикл работ: от проектирования и выпуска программного обеспечения до изготовления опытного образца.

Транспортный перегрузочный модуль линии жидкостного травления осуществляет автоматизированное перемещение полупроводниковых пластин из двух позиций загрузки в одну буферную зону для дальнейшей их перегрузки в процессные ванны.

Для модуля перегрузки характерны следующие особенности:

• Наличие высоких требований чистоты воздуха внутри модуля;

• Исполнительные механизмы с пневмоприводом для повышения плавности хода  и простоты обслуживания при эксплуатации;

• Механизм привода робота выполнен с применением серводвигателя для обеспечения высокой точности позиционирования робота.

Модуль стыкуется с головным и технологическими модулями и формирует полноценную установку технохимии. Данный транспортный перегрузочный модуль возможно адаптировать для работы с пластинами 100, 150 и 200 мм.

Разработка установки жидкостно-химической обработки имеет большую значимость для отечественного рынка микроэлектроники, поскольку в России подобное оборудование не производится, а в условиях санкционных ограничений привозить такое оборудование крайне затруднительно. Налаживание производства подобного оборудования на территории России способствует развитию полупроводниковой промышленности в стране, позволяет закрыть потребности отечественных производителей микроэлектроники и снизить зависимость от зарубежных поставщиков.