Поставлен в срок: M-Ray V1S запущен
Специалисты АО «НПП «ЭСТО» разработали, произвели, поставили и запустили установку одностороннего напыления алюминия в вертикальном положении.
Оборудование спроектировано в соответствии с техническим заданием заказчика и осуществляет нанесение тонкопленочных покрытий алюминия на подложки диаметром 100 мм методом магнетронного распыления в вакууме. Установка поставлена в комплекте с устройством охлаждения жидкости (УОЖ) собственного производства, которое предназначено для охлаждения жидкостей (воды и водных растворов этиленгликоля, пропиленгликоля, этанола и т.п.) во вторичном контуре и дальнейшего использования их в технологическом процессе для охлаждения и термостабилизации различного оборудования.
Заказчиком оборудования выступила российская электротехническая компания, занимающаяся разработками и производством силовых полупроводниковых приборов и оборудованием для промышленности, энергетики и транспорта.
Данная установка напыления тонких плёнок в вакууме разработана по принципу максимального импортозамещения. В этой установке ещё больше отечественных комплектующих, чем в предыдущих версиях. Специалисты АО «НПП «ЭСТО» поставили и запустили оборудование в срок и сейчас заказчик имеет возможность выполнять на ней свои производственные задачи.