АО "НПП "ЭСТО" поставило установку CY-P10L-1000W для плазменной очистки в ведущий научный центр России
АО "НПП "ЭСТО" успешно завершило поставку установки CY-P10L-1000W для плазменной очистки в один из ключевых институтов Российской академии наук, специализирующийся на фундаментальных и прикладных исследованиях в области радиофизики, микро- и наноэлектроники, квантовой радиофизики, а также разработке новых материалов и технологий для микро- и оптоэлектроники.
Компактная установка с камерой объемом 2 литра будет использоваться для подготовки образцов перед вакуумным напылением. Благодаря высокой эффективности плазменной обработки, оборудование обеспечивает надежное обезжиривание и удаление органических загрязнений с поверхности, что критически важно для достижения высокого качества тонкоплёночных структур и наноразмерных устройств.
Установка CY-P10L-1000W оснащена кварцевой вакуумной камерой (Ø220 × 350 мм), независимым ВЧ-источником питания мощностью до 1000 Вт с точной регулировкой (с шагом 1 Вт), двумя газовыми каналами с расходом до 100 мл/мин и встроенным вакуумным насосом производительностью 2,2 л/с. Управление процессом осуществляется через PLC-интерфейс с возможностью программирования длительности обработки от 1 до 9999 секунд.
Поставка данного оборудования подчеркивает доверие со стороны ведущих научных учреждений к решениям АО "НПП "ЭСТО" и открывает новые возможности для проведения высокоточных исследований в области передовых технологий.
Компактная установка с камерой объемом 2 литра будет использоваться для подготовки образцов перед вакуумным напылением. Благодаря высокой эффективности плазменной обработки, оборудование обеспечивает надежное обезжиривание и удаление органических загрязнений с поверхности, что критически важно для достижения высокого качества тонкоплёночных структур и наноразмерных устройств.
Установка CY-P10L-1000W оснащена кварцевой вакуумной камерой (Ø220 × 350 мм), независимым ВЧ-источником питания мощностью до 1000 Вт с точной регулировкой (с шагом 1 Вт), двумя газовыми каналами с расходом до 100 мл/мин и встроенным вакуумным насосом производительностью 2,2 л/с. Управление процессом осуществляется через PLC-интерфейс с возможностью программирования длительности обработки от 1 до 9999 секунд.
Поставка данного оборудования подчеркивает доверие со стороны ведущих научных учреждений к решениям АО "НПП "ЭСТО" и открывает новые возможности для проведения высокоточных исследований в области передовых технологий.