АО "НПП "ЭСТО" успешно завершило поставку и пуско-наладку установки плазменной очистки CY-P10L-1000W на производственную площадку завода по производству электронных компонентов и приборов — специализированного предприятия в области вакуумного напыления и микроэлектроники.

модернизация процесса подготовки подложек перед напылением. Ранее для удаления органических загрязнений и обезжиривания использовались химические методы, что сопряжено с длительным циклом обработки, рисками экологической безопасности и нестабильностью качества очистки.

Специалисты АО "НПП "ЭСТО" предложили переход на современную плазменную очистку низкотемпературной плазмой, обеспечивающую высокую степень очистки, экологичность и полную автоматизацию процесса. После ознакомления с технологией и демонстрации эффективности, руководство завода приняло решение о внедрении установки CY-P10L-1000W.

Ключевые характеристики установки:

• Камера из кварцевого термостойкого стекла (Ø 220 мм × 350 мм)

• Рабочая частота: 13,56 МГц (с высокой стабильностью ±0,2 кГц)

• Мощность: регулируемая от 11 до 1000 Вт с шагом 1 Вт

• Два независимых газовых канала (0–100 мл/мин) — для подачи кислорода, аргона или их смесей

• Управление через PLC-интерфейс: точная настройка времени (1–9999 сек), мощности и режима

• Принудительное воздушное охлаждение

• Совместимость с вакуумным насосом (2,2 л/с)

• Энергопотребление: до 1,2 А при 220 В (без учёта насоса)

Особое внимание было уделено производительности: установка позволяет обрабатывать до 30 подложек одновременно с использованием специальной кварцевой оснастки. Цикл очистки занимает всего 30–60 секунд, после чего поверхности полностью свободны от органических загрязнений и обезжирены, что критически важно для последующих этапов напыления.

Специалисты АО "НПП "ЭСТО" провели полный инструктаж, запуск и демонстрацию оборудования. Клиент подтвердил соответствие установки заявленным требованиям и высокое качество получаемой поверхности.

Результат внедрения:

• Полный отказ от химических методов обезжиривания

• Сокращение времени подготовки образцов

• Повышение воспроизводимости и качества напыления

• Соответствие экологическим и промышленным стандартам

Переход на плазменную технологию очистки стал важным шагом в повышении технологической эффективности и экологической безопасности производства.