Группа компаний ЭСТО — один из ведущих разработчиков и производителей специального технологического оборудования — уже более 20 лет развивает направление вакуумного напыления тонких плёнок. Начав с серии Caroline, компания постоянно совершенствует свои решения, и сегодня предлагает современные установки M-Ray с улучшенными техническими и эксплуатационными характеристиками.

Для клиентов, использующих устаревшие модели Caroline, ЭСТО разработала программу модернизации, позволяющую повысить производительность оборудования без полной замены. Это решение обеспечивает значительную экономию средств и сокращение сроков ввода в эксплуатацию.

Основные направления модернизации:

1. Замена технологических устройств

• источники ионов
  
• магнетроны
  
• носители подложек
  
• прямоканальные нагреватели
  

2. Обновление механики и вакуумной системы:

• приводы барабана и заслонки
  
• специальный ключ для поворота стойки гидроподъёмника
  
• дополнительные направляющие для подъёма и опускания камеры
  
• крепление заслонок
  
• высоковакуумный затвор
  
• УОЖ
  
• карусель для обработки подложек
  
• турбомолекулярный насос
  

3. Обновление системы управления:

• новый шкаф питания и управления
  

Модернизация оборудования Caroline — это оптимальное решение для предприятий, стремящихся повысить эффективность производства без значительных капитальных затрат.