МОДЕРНИЗАЦИЯ ОБОРУДОВАНИЯ СПЕЦИАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
Полная и частичная модернизация промышленного оборудования помогает снизить затраты и повысить эффективность производства, увеличивая мощности и расширяя возможности производства. При модернизации используются современные вычислительные средства, промышленные контроллеры, приводы, датчики, различные регуляторы и низковольтная аппаратура от ведущих мировых производителей.
Модернизация вакуумных установок
Модернизация электротермического оборудования
Модернизация
газовых линий
Модернизация зарубежного технологического оборудования
Процесс модернизации включает в себя замену:
- блоков управления загрузкой
- блоков управления нагревом
- блоков контроля температуры
- плат дискретного выхода
- регуляторов расхода газа
- электропневмоклапанов
- систем управления
- систем газонапуска
- оптических систем
- блоков питания
- приборов
- систем пневматики откачных средств
Установка УВН-71 модернизированная
Модернизация установки «Магнетрон»
Установка серии «СД.ОМ-3/100»
Установка УВН-74 модернизированная
Модернизация установки «Оратория-5»
Модернизация установки «Оратория-5»
«Изотрон 3-150»
установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
«Изотрон 4-150»
установка осаждения слоев поликристаллического кремния и нитрида кремния на пластинах диаметром 150 мм
«Оксид-3»
установка для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 150 мм
«Октава»
установка для сухого или пирогенного окисления пластин диаметром 100 мм
Серия «СД.ОМ-3/100»
для различных процессов термодиффузии на пластинах диаметром 100 мм
«Изоплаз-150»
для осаждения диэлектрических слоев на пластины диаметром 150 мм
УВН74
УВН71-П3
установки вакуумного напыления
«Магнетрон»
«Оратория-29»
«Оратория 2М»
(«Магна») установки магнетронного напыления
«HCVD 55»
импортные установки, предназначенные для осаждения легированных и нелегированных слоёв двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 100 мм
МОДЕРНИЗАЦИЯ ГАЗОВЫХ ЛИНИЙ
