ОПИСАНИЕ
Установка имеет цилиндрическую камеру, внутри которой находится вращающийся барабан, предназначенный для загрузки на него обрабатываемых изделий. Внутри барабана установлены 4 магнетронных распылителя, источник ионов и два нагревателя. Для отпыливания мишеней магнетронных распылителей имеется двухпозиционная заслонка, которая попарно закрывает магнетроны. Для удобства обслуживания внутрикамерного пространства, камера поднимается вверх с помощью гидроподъемника и поворачивается на 180 градусов.
На установке используется система охлаждения с замкнутым внутренним контуром, вода в котором охлаждается внешней оборотной водой через теплообменник. Температура воды автоматически поддерживается немного выше температуры окружающего воздуха, что позволяет избежать конденсации атмосферной влаги на элементах конструкции. Внешняя оборотная вода при отсутствии тепловой нагрузки не расходуется.
Установка магнетронного напыления
Установка магнетронного напыления, являющаяся источником генерации СВЧ–колебаний, используется для нанесения тонких пленок на подложку посредством катодного распыления мишени.
Такая технология широко применяется с целью многослойного нанесения металлов и диэлектриков на дисперсные и твердые образцы за один цикл. Также она позволяет осуществлять серийное производство высокотехнологичной продукции, успешно решать различные производственные и исследовательские задачи. Во время распыления поверхность катода бомбардируется ионами, распыляющими ее. За счет того что распыленное вещество попадает на мишень и затем осаждается на подложку, оно формирует плотную пленку. Процесс может выполняться в автоматическом режиме с сохранением и воспроизведением последовательности технологических процессов.
Установка ионно–лучевого напыления
Технические характеристики
| Варианты загрузки изделий: | |
| Технологические устройства: | |
| Измерительные системы: | |
Смотрите также:
Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности