Описание
Характеристики
ОПИСАНИЕ
Вывод параметров измерения:
В результате измерений нивелир может получить следующие значения параметров: TTV, TIR, WARP, SORI, BOW, LFPD, TAPER, LTIR, LTV, PLTV, PLTIR, PLFPD, LTV (AVG), THK, всего четырнадцать параметров.
Технические характеристики
| Диаметр пластины: | 50 - 200 мм |
| Точность измерения: | 0,06 мкм |
| Точность повторяемости: | 0,025 мкм |
| Разрешение: | 0,005 мкм |
| Количество измеряемых пикселей: | ≤ 25600 |
| Габаритные размеры интерферометра: | 530×650×780 мм |
| Вес: | 75 кг |
| Внешние размеры электрошкафа: | 270×510×400 |
| Вес электрического шкафа: | 15 кг |
| Источник питания: | 220 В/50 Гц/10 А |
| Мощность: | ≤ 1,5 кВт |
| Источник воздуха: | сверхчистый промышленный сжатый воздух или азот (диаметр трубы 8 мм) |
| Давление воздуха: | ≥ 0,5 МПа |
| Расход газа: | 4 М³/ч |
Смотрите также:
Вы недавно смотрели:
Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности