VacuumTechExpo-2025: итоги участия

С 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр» прошла 19-я Международная выставка VacuumTechExpo-2025 – ключевое событие в сфере вакуумного и криогенного оборудования. АО «НПП «ЭСТО» приняло активное участие в мероприятии, представив на выставке возможности предприятия и результаты работы по проектированию и производству вакуумного технологического оборудования.

Компания разрабатывает и производит установки для напыления тонких плёнок в вакууме M-RAY и установки плазмохимического травления ЭСТОХОРС. Кроме того, АО «НПП «ЭСТО» занимается изготовлением таких технологических устройств для вакуумного оборудования, как магнетроны, источники ионов и нагреватели. В этот раз на выставке компания продемонстрировала посетителям два вида магнетронов: с мишенями прямоугольной формы и с вращающейся магнитной системой.

Магнетрон с вращающейся магнитной системой – новинка АО «НПП «ЭСТО». Данная разработка обладает такими преимуществами, как:

1. Более равномерный износ мишени. Вращение магнитной системы обеспечивает перемещение магнитного поля по поверхности мишени, что расширяет зону эрозии.
2. Увеличение коэффициента использования мишени. За счёт равномерной эрозии плотнее используется объём материала мишени.
3. Снижение локального перегрева мишени. Постоянное перемещение магнитного поля уменьшает эффект локального перегрева тех зон, где формируется плазма.
4. Улучшенное распределение осаждаемого материала на подложке. Более широкое и равномерное распределение потока ионов и нейтральных частиц по подложке улучшает однородность напыляемого покрытия на больших или сложных по форме подложках.

Традиционно в рамках выставки прошел конкурс «Лучший инновационный продукт-2025», по результатам которого были определены наиболее перспективные и значимые для развития производства вакуумного и криогенного оборудования инновационные решения. Жюри конкурса отметили проект АО «НПП «ЭСТО» — установку плазмохимического травления «ЭСТОХОРС». Данное оборудование активно применяется в производстве таких микроэлектронных устройств, как интегральные схемы, MEMS-устройства и сложные 3D-структуры. Она обеспечивает высокоточные процессы, необходимые для изготовления современных полупроводниковых изделий.

Проект ЭСТОХОРС обладает следующими особенностями:

• Модульный принцип. Оборудование может быть адаптировано под конкретные задачи заказчика. Это позволяет создавать производственные комплексы, отвечающие индивидуальным требованиям.
• Гибкая конфигурация. Установка доступна в различных вариантах: от простых моделей с ручной загрузкой до сложных кластерных систем с автоматизированной подачей подложек.
• Варианты загрузки подложек. В базовых версиях подложки загружаются непосредственно в процессную камеру. В максимальной комплектации используется автоматическая загрузка из кассеты на подложкодержатель, что повышает производительность и точность.

Выставка прошла спокойно, но плодотворно, ознаменовавшись новыми интересными и перспективными проектами и тёплыми встречами с давними партнёрами.

А мы не снижаем темп, продолжая активную работу над созданием и совершенствованием технологий, и готовимся к новым мероприятиям!