Характеристики

Технические характеристики

Температура процесса: 1380~1500 ̊C
Газ: H2, N2O, NO, O2, Ar2, N2
Рабочее давление: 100 мбар
Ёмкость: 25 или 50 пластин
Размер обрабатываемых пластин: ≤ 150 мм
Автоматизация: полная

Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности