АО «Научно-производственное предприятие «ЭСТО» выпустило первые два серийных образца модуля перегрузки для установок химической обработки кремниевых пластин, предназначенных для предприятий микроэлектроники. Это завершает полный цикл разработки в рамках проекта, поддержанного Министерством промышленности и торговли РФ: от идеи и опытного образца — до промышленного серийного производства.

Модуль перегрузки разработан по техническому заданию РФЯЦ-ВНИИЭФ "НИИИС им. Ю.Е. Седакова" специально для установки жидкостной химической обработки. В рамках данного проекта РФЯЦ-ВНИИЭФ "НИИИС им. Ю.Е. Седакова" выступило разработчиком всей установки, а АО «НПП «ЭСТО» — как соисполнитель — разработало и изготовило один из ключевых модулей, а именно модуль перегрузки для оборудования химической обработки кремниевых пластин.

Инженеры предприятия полностью разработали конструкцию конструкцию и ПО, обеспечили требования по высокой точности и надежности, прошли все испытания — и максимально увеличили долю российской элементной базы в соответствии с условиями госконтракта.

Особое внимание в проекте уделено локализации: в соответствии с условиями госконтракта Минпромторга вся разработка и сборка выполнены преимущественно на отечественной элементной базе. По сравнению с опытным образцом доля российских компонентов в конструкции модуля значительно выросла, что обеспечивает заказчикам технологическую независимость, упрощает логистику и техническое обслуживание.

Модуль перегрузки предназначен для интеграции в линии химической обработки кремниевых пластин на российских предприятиях микроэлектроники, где критически важны точность, чистота процессов и минимизация механических воздействий на чувствительные структуры.

АО «НПП «ЭСТО» ведёт переговоры с рядом отечественных производителей электронной компонентной базы о поставках модулей и готово адаптировать технические решения под индивидуальные требования заказчиков.