ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

Оптический профилометр Zeta-500

Позволяет отображать и анализировать дефекты различных размеров: от субнанометрового до миллиметрового, в подложках любого типа: гладких и шероховатых, с очень высокой и очень низкой отражающей способностью, прозрачных и темных, однослойных и многослойных. 
 
  • Для пластин до 300 мм:
-Последовательное автоизмерение нескольких участков
  • Пригодна для чистой комнаты класса 100:
-Встроенная виброизоляция
  • Широкий динамический диапазон:
-Может работать с сильно отражающими (Cu) и прозрачными (фоторезист) пленками без аппаратных дополнений
  • Быстрый, бесконтактный, оптический измерительный прибор с многомодовой технологией.

 

 

Программа управления:
 
Программа Zeta-3D проста и удобна в использовании.  Для обучения оператора требуется меньше времени, чем обычно.
 
Последовательность рецептов cможет быть сохранена автоматическим исправлением искажений, основанном на распознавании образов.
 
Таблицы сгенерированных данных могут сохраняться в форматах txt или csv.  Изображения, включая скриншоты, полученные при измерении каждого образца могут быть сохранены для последующего изучения на ПК.
 
 
Набор рецептов для автоматического сканирования: пример рецепта для PSS
 
 
  • Окно сечения пластины: 
-Несколько сечений
-Курсоры и маркеры
-Высота, угол, шероховатость
 
  • Двумерное изображение (вид сверху):
-Изображение сечений
-Измерение размеров проблемных участков.
-Автоматическое обнаружение и выделение выступающих дефектов
 
  • Трехмерное изображение:
-Выделение отсутствия структуры
-Выделение царапин
 
  • Таблицы данных:
-Уклон,  диаметр, высота и интервал 
-Среднее, стандартное отклонение, правило 3–х сигм, мин., макс., диапазон,  размеры неровности
-Экспорт в файлы .csv или .txt. 
-Исчерпывающая информация для статистического контроля
 
Ваша заявка принята!