ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное

Отправить заявку

Оптический профилометр Zeta-20

Позволяет отображать и анализировать дефекты различных размеров: от субнанометрового до миллиметрового, в подложках любого типа: гладких и шероховатых, с очень высокой и очень низкой отражающей способностью, прозрачных и темных, однослойных и многослойных. 
  • Оптический профилометр ZDot™  
  • Профилометр Номарского (ZIC)
  • Интерферометр (ZX5 и ZSI)
  • Микроскоп 3D с реалистичной цветопередачей

 

 

 

 

 

 

  • Видеокамера с реалистичной цветопередачей:
-Реалистичное воспроизведение цвета
  • Оптический модуль Zeta с технологией  Z-Dot™:
-Автофокус
-Высокоэффективное освещение для прозрачных подложек и пленок
-Опциональный интерферометр ZX5 для высокого разрешения по оси Z при измерениях на больших площадях
-Опциональное приложение Номарского по обработке изображений поверхностей с низкой шероховатостью
-Двойной источник белого света на светодиодах для получения максимально сильного сигнала от поверхности с низкой шероховатостью
  • Привод оси Z:
-Точный механизм для разрешающей способности по вертикали 13 нм
-Пьезопривод  по оси Z с разрешающей способностью 2 нм
  • Блок управления Zeta:
-Обеспечивает быстрый сбор данных с высоким разрешением
-Опциональный  спектрометр для измерения толщины пленки
  • Платформа XY с дополнительным 3-им источником света
-Удобное позиционирование образцов
-Дополнительная платформа XY с электроприводом для автоматизированного производства
-Просвечивающий или внешний источник света для специальных задач
 
Программа управления:
 
Программа Zeta-3D проста и удобна в использовании.  Для обучения оператора требуется меньше времени, чем обычно.
 
Последовательность рецептов cможет быть сохранена автоматическим исправлением искажений, основанном на распознавании образов.
 
Таблицы сгенерированных данных могут сохраняться в форматах txt или csv.  Изображения, включая скриншоты, полученные при измерении каждого образца могут быть сохранены для последующего изучения на ПК.
 
 
Набор рецептов для автоматического сканирования: пример рецепта для PSS
 
 
  • Окно сечения пластины: 
-Несколько сечений
-Курсоры и маркеры
-Высота, угол, шероховатость
 
  • Двумерное изображение (вид сверху):
-Изображение сечений
-Измерение размеров проблемных участков.
-Автоматическое обнаружение и выделение выступающих дефектов
 
  • Трехмерное изображение:
-Выделение отсутствия структуры
-Выделение царапин
 
  • Таблицы данных:
-Уклон,  диаметр, высота и интервал 
-Среднее, стандартное отклонение, правило 3–х сигм, мин., макс., диапазон,  размеры неровности
-Экспорт в файлы .csv или .txt. 
-Исчерпывающая информация для статистического контроля
Ваша заявка принята!