ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Нестандартное оборудование

Отправить заявку

ВП-001/14

Вакуумная печь производства компании НПП «ЭСТО», изготовленная из импортных комплектующих, предназначена для отжига кремниевых пластин и молибденовых дисков диаметром от 50 до 150 мм.  

Установка выполнена в напольном варианте, имеющем общий корпус из нержавеющей стали, ручки для перемещения печи и ножки для выравнивания горизонтального положения.

Установка содержит газонепроницаемый кварцевый реактор с внешним диаметром 180 мм, с двумя герметичными фланцами, термоизоляционную футеровку, нагреватель до 1200 ºС,  систему воздушного охлаждения, систему водяного охлаждения фланцев, трансформаторы нагревателя, систему откачки газов с вакуумными насосами, панель управления.

 
 
 
 
 
 
 
 
 
Базовый комплект поставки:
 
 
 

 
Наименование составных частей


Краткая характеристика и параметры


Корпус установки


Нержавеющая сталь 2 мм толщиной , полирующее покрытие.


Кварцевый реактор


Размеры 180 x  172 x 1800 мм, производство фирмы Heraeus Quartz

T макс для работы в вакууме 950°C

Рабочая зона – 800 мм в центре реактора

Нагреваемая зона – 1600 мм

Точность поддержания температуры в рабочей зоне – не хуже ±1°С

Остаточное давление в холодной камере не хуже 1х10-4 Па

Нагреватель


Производство фирмы Kanthal. Спиральный, 3-х зонный
 

Муфты загрузки и откачки

Герметичные , водоохлаждаемые


Блок питания нагревателей

Тиристорный с гальванической развязкой от питающей сети


Блок регулирования температуры


Пропорционально-интегрально- дифференциальные (ПИД – регуляторы)


Блок управления откачкой и напуском газа

 
 
 
 
 

 

Откачной пост в составе:

Мембранный вакуумный насос Pfeiffer MVP 015

Турбонасос Pfeiffer Turbo HiCube 80 Eco

Датчик вакуума

Регулятор расхода газа

Соединительная арматура

Панель оператора

Производство компании Delta


Контроллер
 

Производство компании Microchip

 
Ваша заявка принята!