ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек

Отправить заявку

Установки врезного шлифования MPS Т500

Установка предназначена для шлифования задней стороны полупроводниковых пластин. MPS T500 легко интегрируется в процесс производства полупроводниковых пластин.

Наименьшие отклонения от стандартного размера достигаются при помощи максимального снятия материала и высокой производительности. Простои между операциями шлифования устранены за счет уникальной конструкции. Загрузка и выгрузка пластин происходят в ходе технологического процесса. Запатентованный метод врезного шлифования гарантирует максимально возможную защиту от повреждений илиполомки пластин. 

Врезное шлифование в полупроводниковом производстве.G&N запатентовала технологию высокоточной обработки с одним шпинделем и двумя шлифовальными кругами.Величина снимаемого припуска, рассчитываемая исходя из минимальных повреждений кристаллической структуры очень чувствительных к обработке и дорогих материалов; жесткая конструкция для максимальной точности конечных продуктов - необходимые требования для полностью автоматизированной, работающей в тяжелых условиях установки шлифования.

Данный метод обеспечивает одновременное шлифование всей поверхности пластины. Зона максимального контакта шлифовального круга используется для достижения высокой скорости удаления материала. Для данной операции шлифования требуется шпиндель, расположенный в опорах с прецизионными подшипниками. Абразивная поверхность алмазного шлифовального круга больше диаметра пластины. При подаче шпинделя в осевом направлении обработка пластины совершается за один проход.   

В установке MPS T500 применяется метод врезного шлифования, который предлагает высокую гибкость параметров шлифования и превосходные метрологические характеристики.

Механизм с двумя подъемниками и накопителем на 75 пластин, состоящим из 3 кассет, обеспечивает непрерывный технологический процесс.

Ленточный транспортер обеспечивает автономную выгрузку пластин. Вакуумный манипулятор на первой позиции переворачивает пластину и помещает ее в центрирующее устройство. Пластина тщательно центрируется и помещается в одно из двух вакуумных удерживающих устройств на поворотном столе. В это время второе удерживающее устройство находится на противоположном конце стола в рабочей позиции под шлифовальным кругом.

Очищенная и высушенная пластина перемещается во вторую зону поворота, помещается на ленточный конвейер и затем в кассету.

Прецизионная установка врезного шлифования с функцией передачи пластин из кассеты в кассету и системой контроля пластин на выходе.
 
Процесс шлифования.
После поворота на 180 градусов пластина помещается в позицию шлифования под шлифовальный круг. Незадолго до получения необходимой толщины пластины вертикальная подача прекращается. Пока поворотный стол вращается, проводится финишная обработка пластины дополнительным внешним шлифовальным кольцом, кромка которого опускается ниже основного шлифовального круга. Данной операцией получают уже требуемую толщину пластины. Качество поверхности может быть значительно улучшено при использовании внешнего шлифовального кольца с более мелкозернистой структурой.
 
 
Технические условия.
Характеристики операции шлифования могут быть оптимально подобраны для материала пластины и определенной точности поверхности.
Каждая пластина проверяется по толщине, перед тем как покинуть зону обработки. Поворотный стол начинает вращаться с остановками для проведения замеров. К пластине пневматически подводятся два индуктивных датчика, один с верхней стороны обработанной пластины, другой с нижней стороны поворотного стола. Толщина пластины замеряется разницей положений. После каждой операции шлифования рабочая поверхность стола очищается. Опилки после шлифования смываются водой под давлением сквозь пористую поверхность зажима.   Дополнительно для более качественной очистки применяется вращающаяся щеточка. В результате следующая пластина помещается на абсолютно чистую и сухую рабочую поверхность.
Поверхность обработанной пластины промывается сверхзвуковой струей. Затем пластина сушится центрифужным методом.
 
Электронная система контроля.
Логический метод с обратной связью и индикатором ошибок предоставляет дополнительную уверенность в высочайшем качестве и способствует простоте управления.
Точный и полностью автоматизированный технологический цикл, проводимый на установке MPS T500, невозможен без сложных электронных систем управления: системы контроля движения шпинделя по 3 осям и пошагового вращения поворотного стола и ПК, контролирующего все остальные функции установки. Согласованная обратная связь после каждого этапа и отображение всех неполадок значительно снижают фактор человеческой ошибки. В то же время увеличиваются максимальные производственные показатели и стабильность качества, несмотря на многочисленные изменения рабочей среды.
Ваша заявка принята!