ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек

Отправить заявку

Установки утонения, шлифовки, полировки пластин MPS R400 GGP

Система прецизионного шлифования разработана специально для подрезания торца и полирования металлических и неметаллических материалов, например, сталь, твердые сплавы и металлы, полупроводниковые материалы, керамика, сапфир и кварц. Система обеспечивает в автоматическом режиме технологические процессы: предварительная шлифовка до 10 мкм со снятием 100 мкм/мин, тонкая шлифовка 10мкм/мин, выхаживание 20 сек, автоматическая полировка.

Установка прецизионного шлифования и полирования MPS R 400 GGP:

  • сдвоенный шпиндель -1 шт.;
  • объединенный блок шлифования – 1 шт.;
  • поворотный стол MPR 270 (или эквивалент) диаметром, 400 мм и скоростью вращения 10 об/мин (непрерывное вращение) с держателем подложек из пористой керамики, изготовленный из Х18Н10Т  толщиной, 100 мм. – 1шт.;
  • автоматическая подача – 1 шт.;
  • брызговик и защита области шлифования – 1 шт.;
  • управление подачей полировальной суспензией – 1 шт.;
  • ручное устройство отмывки – 1 шт.;
  • автоматический поворот шлифовальной головы для подвода полировальной головы – 1 шт.;
  • опорная плита Ø 400 мм для установки различных рабочих плит вакуумного держателя – 1 шт.;
  • рабочая плита вакуумного держателя Ø 400 мм, устанавливаемая на опорную плиту и содержащая 1 пористый керамический держатель – 1 шт.;
  • автоматический контроль размера обрабатываемого изделия – 1 шт.;
  • керамический держатель для пластин – 1 шт.;
  • шлифовальный круг для шлифования вакуумной плиты – 1шт;
  • шлифовальный круг – 20 шт;
  • правильный камень – 8 шт.

Зона эксплуатации установки соответствует следующим требованиям:

  • отсутствие оборудования, создающего вибрацию (прессы, молоты и т.д.);
  • машина установлена горизонтально на специальных опорах, входящих в комплект поставки.
  • Конструкция обеспечивает защиту от случайного запуска процесса и начала вращения подвижных частей за счет контроля открытия защитных дверей, системы контроля фиксации обрабатываемого изделия; контроля выбора рабочей программы.

Контроллер управления шлифовальным шпинделем обеспечивает:

  • Переход из автоматического в ручной режим;
  • Включение/выключение вращения стола для подложек как в ручном, так и в автоматическом режиме;
  • Включение/выключение промывки держателя рабочего стола;
  • Отвод/подвод второго шлифовального шпинделя;
  • Включение/выключение подачи вакуума на держатель подложек;
  • Включение/выключение вращения шлифовального шпинделя;
  • Аварийная остановка вращений;
  • Включение/выключение охлаждения;
  • Подведение/отведение шлифовального шпинделя;
  • Ручное задание скорости вращения шлифовального шпинделя;
  • Отображение текущих скоростей вращения;
  • Ручное задание скорости вращения стола для подложек.

Система управления шлифованием обеспечивает следующее:

  • Скорость вращения шпинделя при выхаживании 5000 (об/мин);
  • Скорость вращения поворотного стола при выхаживании 10 (об/мин);
  • Выбор шлифовального круга (черновой/чистовой);
  • Скорость вращения поворотного стола при черновом/чистовом шлифовании 10 (об/мин);
  • Скорость вращения шпинделя при шлифовании черновым кругом 5000 (об/мин);
  • Скорость вращения шпинделя при шлифовании чистовым кругом 5000 (об/мин).

Система управления отображает ошибки следующим образом:

  • Принятие возникших ошибок, при сохранении их активными.
  • Удаление исправленных ошибок.

Система управления полированием обеспечивает:

  • Вращение стола в обратном направлении;
  • Задание давления полирования 5 (бар);
  • Индикатор счетчика циклов полирования;
  • Задание скорости поворотного стола при полировании 10 (об/мин);
  • Задание времени выхаживания при полировании 0-9999 (сек);
  • Задание скорости вращения шлифовального шпинделя 0-500 (об/мин);
  • Задание времени автоматического цикла полирования 0-9999 (сек).

Система управления состоит из следующих блоков:

  • Механические кнопки запуска/остановки выполнения процесса;
  • Контроллер управления перемещением шлифовальным шпинделем по оси Z;
  • Сенсорная панель задания скоростей вращения шлифовального шпинделя, рабочего стола, управления полированием c цветным сенсорным дисплеем (резистивный тип сенсора с одной точкой касания) диагональю, 7’ и разрешением 800 х 600;
  • Система управления модулем измерения толщины изделия.

Технические характеристики установки прецизионного шлифования и полирования:

  • максимальная скорость грубой подачи шлифовального шпинделя: 50000 мкм/мин;
  • минимальная скорость грубой подачи шлифовального шпинделя: 1 мкм/мин;
  • минимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при черновом шлифовании: 1 мкм;
  • максимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при черновом шлифовании: 10000 мкм/мин;
  • минимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при чистовом шлифовании: 1 мкм;
  • максимальная скорость подачи шлифовального шпинделя при чистовом шлифовании: 1000 мкм/мин;
  • максимальное время выхаживания: 1000 с;
  • шаг программирования подачи шлифовального шпинделя: 1 мкм;
  • электропитание установки: 7 кВт;
  • электропитание электродвигателя шлифовального шпинделя: 4 кВт.
  • равномерность по толщине: 76 мм – +/-2 мкм, 150 мм – +/-3 мкм;
  • минимальная толщина пластины после обработки – 100 мкм;
  • достигаемаяRaпосле обработки – 0,005 мкм;

максимальная производительность:

  • 76 мм – 50 шт/час
  • 100 мм – 25 шт/час
  • 150 мм – 15 шт/час

 

Конструкция установки обеспечивает возможность использования следующих шлифовальные круги:

  • керамика 200х100х76 мм;
  • алмазный 200х34х76 мм;
  • максимальный диаметр рабочей области: Ø 400 мм;
  • средний расход: 4шлифкругов/год, 50 полировальных лент /год

Параметры шлифования:

  • максимальная скорость вращения стола для подложек: 7 об/мин;

Система подает в зону шлифования деионизованную воду 20МОм:

  • расход воды: 900 л/ч;
  • промывка держателей подложек: 750 л/ч;
  • водокольцевой вакуумный насос потребляет 210 л/ч, обеспечивает остаточное давление 1 мбар, обеспечивает откачку воды;

Габариты установки:

  • занимаемая площадь установки не должна превышать  2600 х 1800 мм2;
  • вес установки не должен превышать  1100 кг.

Потребление сжатого воздуха установки соответствует следующим требованиям:

  • давление (мин/макс)    5,5/6,5 атм;
  • расход: 200 л/мин;
  • содержание масла: 1 мг/ м3;
  • точка росы: - 45 ºC;
  • размер частиц пыли: 1 мкм;
  • подключение осуществляется с помощью гибкого шланга с внутренним диаметром 7 мм.

Электропитание установки соответствует следующим требованиям:

  • напряжение питания 380 В;
  • допустимые отклонения напряжения питания ± 10 %;
  • частота 50 Гц ± 1 Гц;
  • потребляемая мощность: 10 кВт;
  • подключение 5-и проводное.

Потребление установкой воды соответствует следующим требованиям:

  • давление 3 - 4,5 атм;
  • расход: 10 л/мин;
  • температура  20-25 ºC (не должна отличаться от температуры воздуха более чем на 2 ºC);
  • подключение осуществляется с помощью гибкого шланга с внутренним Ø 14 мм.

Слив подключается с помощью двух точек и соответствует следующим требованиям:

  •    подключение – патрубок  Ø  40 мм;

               - расход 4 л/мин.

               - подключение – гибкий шланг с внутренним Ø 14 мм (необходимо механически прочное подключение);

               - расход  6 л/мин.

Ваша заявка принята!